암모늄 메타 텅스텐 산 반도체
메타 텅스텐 산 암모늄 반도체는 AMT 자체가 반도체 속성이 없기 때문에 존재하지만, AMT 삼산화 텅스텐 (WO3) 반도체, 반도체 및 전자 산업에서 중요한 중간의 준비를 의미하지 않습니다.
전자 산업에서 사용되는 메타 텅스텐 산 암모늄이 주로 커패시터, 차폐 및 반도체 장치 요법의 필름 기판의 제조 방법이다 .. 종종, 메타 텅스텐 산 암모늄이 시트르산 및 기타 원료 물질 (특정 비율로 첨가함으로써 삼산화 텅스텐 반도체 제조 텅스텐 소스 인 황산나트륨). WO3는 η 형 반도체 재료는 많은 관심을 야기하기 때문에 우수한 전기 변색 및 광 변색 성, 광촉매, 가스 감도 및 다른 특별한 특성 중, 육각형 입방 다른 대칭 구조를 갖는 것이다.
반도체 장치의 필름 기판에 사용 된 메타 텅스텐 산 암모늄을 주로 지원하는 역할을하고, 막 특성을 향상시킬 수있다. 기판 재료의 특성 및 표면 형상은 필름의 특성에 큰 영향, 일반적으로 마이크로 나노 미터 사이에 요구되는 기판 위에 성장 된 박막의 두께를 갖고 있기 때문에, 따라서 기판 표면은 매우 평탄도를 갖도록 요구한다; 둘 사이의 격자 부정합은, 다음의 막 형성의 초기 단계에서 긴 전이 구역을 형성 할 경우에 따라서, 필름의 조합 및 기판은 매우 중요한 요소이다.